400-888-1210产品特点
模块化设计，可集成多种设备，适合复杂工艺需求
洁净等级可选，其他杂志气体吸附柱可选
安全可靠的自动化控制能力
无泄漏专利密封技术· 超低泄漏率（行业标准<0.005vol%/h，威格泄漏率＜0.001vol%/h）水氧浓度超低
产品规格
技术参数
指标
H2O＜1PPM;O2＜1PPM
控制系统
由西门子的PLC和7"彩色触摸屏组成
再生
自动再生程序
箱体压力控制
自动压力控制，脚踏开关辅助手动控制 (压力调整范围：± 10mbar)
再生气体
N2, Ar & H2 混合气 (H2 浓度：5-10 %)
真空泵
油泵，速率可达: 12m3/h
工作气体
氮气、氩气、氦气
管路
不锈钢
运行机理
闭路循环
主控阀门
电磁气动阀/电气动控制
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